СИДМЭЛ SAME200
СИДМЭЛ SAME200 - это установка микроволнового плазмохимического травления российского производства, разработанная для исследований в области микроэлектроники. Установка позволяет травить диэлектрики (оксида кремния) и различные полимеры (резисты, полиимиды, эпоксидные смолы). Подойдет для НИОКР-лабораторий, опытных и мелкосерийных производств.